P13三维小体积压电纳米定位台
P13系列三维压电纳米定位台内部采用的柔性铰链导向机构,具有超高导向精度、负载能力大、无摩擦、响应速度快等特点。同时具有的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台采用无磁材质,在使用过程中不受磁场影响,体积小,结构紧凑,非常易于集成。
P13纳米定位台体积非常小巧,尺寸仅为35×35×36mm,非常易于集成到任何扫描仪器中。同时P13为超高精密纳米定位系统,是为AFM、SPM、STM等显微扫描等应用专门设计的,响应时间可达0.8ms,可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。
技术参数
推荐控制器
E01.D3
3路输出
旋钮、模拟、上位机通信
开环/闭环
平均功率7W/通道
E70.S3
3路输出
模拟与数字控制
开环/闭环
平均功率5W/通道
E72.S3
3路输出
模拟、上位机通信控制
开环/闭环
平均功率6W/通道