*，由压电陶瓷驱动的压电纳米定位台，可完成纳米量级的步进，并且，压电纳米定位台的步进是通过电压信号控制，产生的总位移与电压信号成线性关系。

此外，压电纳米定位台也可产生出力，且出力也与电压信号成线性关系。

通过芯明天压电纳米定位台配合探针系统、力传感器等搭建一套力闭环系统，从而可进行较特殊、高精度的材料表面微加工。

力闭环控制的基本结构如下图所示。

1. 芯明天P84压电测微头，进行位置的粗精调节；

2. 芯明天XP-63X系列压电纳米定位台，带动探针做微米级运动，并控制探针与工件的接触、接触深度与分离；

3. 芯明天Z向宏动台，进行位置的粗略调整；

4. 遮罩；

5. 弹性探针系统；

6. 表面光滑的待加工件；

7. 力传感器，用于标定。

首先，通过芯明天压电控制器驱动控制压电纳米定位台，使其位移从0逐渐升至大位移处，同时通过力传感器将随之变化的出力值进行采集、记录，对弹性探针系统及压电纳米定位台产生的位移与出力间进行标定。

标定好后，即可使用该系统进行材料表面的微加工。