P18.XY300S压电扫描台为二维XY运动闭环直线扫描台，采用机构放大设计原理，内部以高可靠性的压电陶瓷为驱动源，可以实现370μm/轴的高速扫描，通光孔径为Ø35mm，非常适用于大行程多维扫描等应用。

特点

位移可达 370μm

承载可达1.5kg

通孔直径：Ø35mm

闭环重复定位精度高

响应速度快

阶跃时间

单点定位应用，P18.XY300S 带载 100g 负载阶跃时间 60ms。

配套控制器

P18.XY300S二维压电扫描台需要三个输出通道的压电控制器进行驱动控制，其中两个通道为可变0~120V输出，另一通道为120V恒压输出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1压电控制器，可满足P18.XY300S的各项参数要求。

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

典型应用

图像处理与稳定

扫描显微

干涉/计量

表面检测

光学计量

半导体测量