压电陶瓷剪切片
压电陶瓷剪切片是利用压电陶瓷剪切向效应d 15 ,通过施加正负电压使得压电陶瓷产生切向位移。
特点
±320V 驱动
剪切运动
单片位移1.5μm
可叠堆获得大位移或XYZ三维
可切割
应用
激光腔调谐
振动源
精密定位
微操作
AFM原子力显微镜
运动方式
压电剪切片一侧具有切角,施加正压的表面朝向切角方向运动。可带载负载如镜片等,做横向运动。
技术参数
压电剪切片安装使用注意事项
剪切片的电极在上下表面。它可以通过机械夹持或胶水进行固定安装。
当用机械夹持固定时一定要控制剪切片的轴向力,太低的力会导致滑动但太大的力又会损坏陶瓷。在合适的接触面及较低的剪切力情况下,推荐1~3MPa的压力。
在机械夹持下的运动:
如果使用夹持力,负载机构在致动方向的刚度应尽可能的低,以避免阻碍剪切片的运动。
负载必须作用在整个表面,以确保力的均匀分布。特别是施加压力时,接触面一定要足够平整。
接触面必须与结构的其他部分绝缘。可以通过加绝缘陶瓷片或聚酰亚胺绝缘薄膜实现。
优选的胶水粘合的方法:
如使用胶水来固定剪切片,一定要确保剪切片与基片间的胶层非常薄,一般可以使用较低粘度的胶水,在固化过程应使用一定的压力,例如2-3MPa.
环氧树脂胶非常适合于粘贴压电陶瓷。
电连接
外部电极:剪切片的两个电极是一样的。 工作方向通过切角来表明。
符号规定:给一面电极以正电压,此表面将会朝着切角边缘方向产生一个相对的位移。
外部电极的连接可以通过机械接触、焊接、导电胶粘或引线接合来实现。
机械连接可以通过一个铜弹簧与外部电极连接。剪切片上的金电极提供非常好的导电性能,同时避免了电极氧化。