P73.Z1000系列压电物镜定位器为您提供完精确聚焦!
可见光的波长一般在390nm至780nm范围,而光学显微技术利用的是物镜对光的聚焦,以达到尽可能高的亮度范围,从而获取尽可能清晰的图像。高分辨率显微成像的景深一般为微米级或亚微米级,这在定位到景深范围内后,Z向调焦的过程将需要更高的定位精度,尤其对成像精度要求非常高的应用,例如多光子荧光显微镜、光学相干断层成像术、晶圆检测等,都要求纳米级定位精度!
用过压电产品的用户,一般都了解压电产品的位移,一般在几微米到几百微米不等。但为了实现更大范围的Z向聚焦,芯明天设计了P73.Z1000系列压电物镜定位器,该物镜定位器具有1mm(=1000μm)的运动范围,不仅满足了大范围调焦应用,而且提供了纳米级的定位精度!
P73.Z1000系列压电物镜定位器是采用PZT压电陶瓷驱动,因此具有PZT压电陶瓷的很多优点,它的响应速度快,在毫秒量级,并且具有纳米级的分辨率,可提供纳米级高精度的物镜定位驱动,从而达到纳米精度的聚焦。同时,采用内置闭环反馈传感器,又解决了PZT压电陶瓷的迟滞与蠕变的问题。
P73.Z1000系列压电物镜定位器既吸收了压电陶瓷的优点,同时去除了压电陶瓷的弊端,为高分辨率显微成像、激光聚焦等应用提供了便捷而有力的工具!此外,P73.Z1000系列压电物镜定位器的安装非常便捷,采用螺纹安装,螺纹适配标准物镜,也可选择定制安装螺纹。
P73.Z1000S技术参数
运动轴:Z向
标称行程范围:800μm@120V
行程范围:1000μm@150V
传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:36/10nm
闭环线性度:0.5%F.S.
闭环重复定位精度:0.3%F.S.
推/拉力:20/5N
运动方向刚度:0.02N/μm
空载谐振频率:110Hz
闭/开环空载阶跃时间:50/25ms
承载能力:0.2 kg
静电容量:43.2μF
材质:钢、铝
重量:786g