压电物镜定位器是采用PZT压电陶瓷驱动,因此具有PZT压电陶瓷的很多优点,它的响应速度快,在毫秒量级,并且具有纳米级的分辨率,可提供纳米级高精度的物镜定位驱动,从而达到纳米精度的聚焦。同时,采用内置闭环反馈传感器,又解决了PZT压电陶瓷的迟滞与蠕变的问题。
压电物镜定位器既吸收了压电陶瓷的优点,同时去除了压电陶瓷的弊端,为高分辨率显微成像、激光聚焦等应用提供了便捷而有力的工具。此外,P73.Z1000系列压电物镜定位器的安装非常便捷,采用螺纹安装,螺纹适配标准物镜,也可选择定制安装螺纹。
用过压电产品的用户,一般都了解压电产品的位移,一般在几微米到几百微米不等。但为了实现更大范围的Z向聚焦,芯明天设计了P73.Z1000系列压电物镜定位器,该物镜定位器具有1mm(=1000μm)的运动范围,不仅满足了大范围调焦应用,而且提供了纳米级的定位精度。
可见光的波长一般在390nm至780nm范围,而光学显微技术利用的是物镜对光的聚焦,以达到尽可能高的亮度范围,从而获取尽可能清晰的图像。高分辨率显微成像的景深一般为微米级或亚微米级,这在定位到景深范围内后,Z向调焦的过程将需要更高的定位精度,尤其对成像精度要求非常高的应用,例如多光子荧光显微镜、光学相干断层成像术、晶圆检测等,都要求纳米级定位精度。